повторное оксидирование поликристаллического кремния

kartotinis polikristalinio silicio oksidavimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. poly reox; polysilicon reoxidation vok. Reoxydierung des Polysiliziums, f rus. повторное оксидирование поликристаллического кремния, n pranc. réoxydation de silicium polycristallin, f